Lighting自动匹配器是专门设计用来将等离子体腔体工作时的阻抗(容性或感性)自动转换成使射频源输出最大功率的状态。Lighting自动匹配器采用全数字控制的步进电机,是设计为频率范围为1MHz至81MHz,功率范围为100W至30kW的射频源提供使其输出最大功率的阻抗。
Lighting自动匹配器按照使用的功率范围可分为Lighting 1500,Lighting 5000,Lighting 20K等不同的系列。其中Lighting 1500的冷却系统根据具体的使用情况可选择水冷或风冷,客户可按照具体应用情况选择;Lighting 5000及更高功率的自动匹配系统的冷却系统推荐使用水冷。
Lighting自动匹配器采用最新研发的模糊控制结合交叉系数匹配算法来自动调节电机转速,匹配速度快如闪电;同时先进高速的PHASE-MAG数据采集系统在Pulse工作模式下可以获得同CW模式下的数据率,即无论是Pulse模式还是CW模式都有相同的匹配速度,最低可以支持到0.1%的占空比。
我们将会由专业技术人员为客户提供产品选型及使用指导,确保客户能正确、有效地使用Lighting自动匹配器。另外我们的工程技术人员会根据客户的具体要求提供频率为1MHz至250MHz的产品定做
Lighting系列自动匹配器的技术特点:
1:创新的模糊控制结合交叉系数匹配算法实现快速、智能的匹配,在预设条件下1S内完成匹配。
2:创新的模糊控制结合交叉系数匹配算法解决了以往匹配器陷车的问题,Lighting系列匹配能从任意起始位置开始寻找到匹配点。
3:全数字化控制技术,可以灵活的设定匹配参数。
4:支持脉冲工作模式
Lighting自动匹配器支持串口和网口通信,用户可使用上位机便捷地进行远程控制。
Lighting自动匹配器的型号列表(点击下面的产品型号查看产品规格)