最高输出功率

12KW CW 负载为50欧姆

功率范围 

120-12KW连续可调

最大反射功率 

2000W

工作频率 

1.8-2.17MHz 支持扫频

负载阻抗

50欧姆

射频功率控制模式

P forward, P delivered or Process feedback

射频功率控制精度

± 1 % of setpoint or ± 0.1 % of full rated power

功率上升时间 

< 10 ms

功率关断时间

< 1 ms

脉冲模式 

支持多级脉冲

脉冲上升时间（10%爬升至90%)

< 2us

脉冲下降时间 

< 2us

脉冲频率范围

0Hz至50KHz

占空比范围

脉冲级数

调频工作模式下匹配时间             

0.1%-99.9%

4级

< 100μs

谐波 

< -40dBc

杂散 

< -50dBc

输出连接  

50欧L36型连接器或者LC连接器母头

远控接口

串口，网口，EtherCAT

多台射频电源同步连接

SMA 母头

CEX输入输出电平

TTL

保护功能

DC电源过流保护，驻波保护，过温保护

冷却方式

水冷和强制风冷

空气冷却

最小空气流量为260m3/h，空气温度为5-35摄氏度

水冷却  

冷却水流量大于10lpm，冷却水压力大于2bar

尺寸

825mm X447 mm X 177mm（长X宽X高）     

安装间距

100mm(上下左右前后所有面)

输入电压

380VAC或者208VAC 三相电

输入电流

60A 满功率

输入频率

50Hz至60Hz

功率因数

98% 至99%

整机效率 

>70%（满功率，50Ω负载）