产品中心
请按照下面的参数使用Zeta系列射频电源
Zeta 30013 13.56MHz 30KW
AC MAINS 输入电压
440Vac 三相
AC MAINS 输入频率
50Hz 至60Hz
输出阻抗
50Ω
输出功率
30KW
功率上升下降时间
<10ms
效率
>60%,满功率输出至50Ω负载
脉冲工作模式脉冲频率
0-50KHz
脉冲占空比
0.1%-99.9%
最小脉冲宽度时间
10us
脉冲最大过冲
<10%
输出频率
13.56MHz±5%(扫频功能为选配)
调频工作模式下匹配时间
<100us
谐波
额定输出至50Ω负载时,所有的谐波低于射频输出信号35dB
射频输出功率稳定度
设定功率的1%
CEX IN & CEX OUT信号
TTL
ARC灭弧功能
选配
尺寸
900mm×464mm×500mm
后面板上RS232/485通信接头
DB9公头
EtherCat/EtherNet通信接口
RJ45
后面板上CEX IN & CEX OUT接头
SMA 母头
后面板上PULSE IN & PULSE OUT接头
SMA母头
后面板上ARC IN & ARC OUT接头
后面板上ITLK接头
DB15母头
后面板上RF OUT输出接头
1 5/8'' EIA
冷却方式
风冷和水冷
最小空气流量
150立方米每小时
运行环境温度
+5℃至+40℃
运行环境湿度
5%至70%
运行环境气压
78kPa至106kPa
冷却水温度
+20℃至+30℃
水流速
10升每分钟
水压
>2bar(29psi)