全固态射频电源的功放采用RF MOSFET为元器件，主要由功放模块，功率检测模块，控制模块和AC/DC电源模块；

功放模块的功能是通过多级射频功率放大将晶振产生的特定频率的小信号放大到所需要的射频功率。

功率检测模块的功能是检测出功放的输出功率，性能的好坏直接影响到输出功率的精确度和稳定度。

控制模块的主要功能是控制射频电源的输出功率为设定值，处理工作中的异常比如VSWR保护，过温保护等等。

AC/DC模块将输入的220V交流电转换成功放，控制模块功率检测模块所需的直流电压。