射频自动匹配器主要用于将等离子体腔体的阻抗匹配成便于全固态射频电源输出最大功率的阻抗。 

射频电源自动匹配器采用两个可调电容来实现阻抗变换，通常情况下负载Chamber的阻抗不是50欧姆，并且阻抗会随着Chamber内等离子体构成压力的变化而变化，自动匹配器能即时将变化的阻抗匹配为使射频电源输出最大功率的阻抗。 

一般采用L型或pi 型匹配结构，具体结构根据应用来定。

深圳市广能达半导体科技有限公司采用优化算法能在根据负载的阻抗调节电容转速的同时避免目前PECVD设备中普遍存在的多匹配器之间的干扰问题，达到更快更精确的匹配效果而且提高了自动匹配器的稳定性使用寿命。