在薄膜太阳能电池的生产工艺中，有一套需要射频电源的镀膜工序，也是整个薄膜太阳能生产的关键工序之一，对射频电源系统的稳定性和可靠性要求很高，射频电源系统的稳定性直接影响着产品的质量和成品率。这个应用的最大难点是负载的阻抗一般是随时变化的，负载阻抗的变化会导致自动匹配器的动作，即使使用国外著名公司的射频电源和匹配器系统也会导致腔体不稳定的情况发生，使得腔体熄火从而整个流水线作业中断。我司工程人员仔细分析了此情况的发生过程，通过修改匹配器的算法和匹配范围，使这种扰人的过程以后不再在薄膜太阳能电池生产的过程中发生，通过以上修改，射频电源和匹配器系统可以在任何条件下任何位置下10秒以内找到最终匹配点使得反射功率小于入射功率的1%，同时系统不随腔体阻抗的变化而大幅动作，实现了稳定的射频功率输入，提高了产线的效率和稳定性，使射频电源镀膜工序不再是整条产线的短板。