Universal 3027射频电源和自动匹配器成功应用于LED生产线
来源: | 作者:electronics-101 | 发布时间: 2011-10-23 | 622 次浏览 | 分享到:
Universal 3027射频电源和对应的自动匹配器取代日本产射频电源和匹配器,成功应用于大型LED生产线。

Universal 3027射频电源和对应的自动匹配器取代日本产射频电源和匹配器,成功应用于大型LED生产线。目前国内的LED生产线大部分都是从日本进口,产线配备的射频电源是日本或欧美的射频电源,LED产线射频电源主要用来在CVD中刻蚀,镀膜和清洗,其中刻蚀和镀膜工艺对射频电源和自动匹配器的稳定度和反射功率大小要求极高。Universal 3027和Auto-Match 3027是一套27.12MHz,3kW的射频电源和自动匹配器系统,可以稳定的高效的应用在LED生产线,并且体积远远小于日本产的同规格射频电源。